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但是,就像四十三所实验室的装置一样,MPCVD法的沉积速率是硬伤。
看完了这篇详细介绍MPCVD法的文献后,陈舟不禁想到。
“如果有DAPCVD法一半的速度,再加上MPCVD法的制备质量,那这事不就成了吗?”
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